高速微位移測量儀現狀

近幾十年來，中國各方面均處于一個高速發展狀態，但是科技發展速度和工業制造發展速度均落后于經濟發展速度。在很多制造業現在仍然在使用落后于世界的制造工藝，這招致本國制造產品在世界市場缺失競爭能力，大多只能靠壓低價格進行銷售。于是，對于本國制造業而言，提高產品質量與產品精度變得十分重要。此外，微位移技術是現代工業的主要組成部分之一，它幾乎影響著現代工業中的各領域，并且受到國內與國外研究人員的極大關注，成為提高現代工藝制造水平的一個主要的研究方向。
微位移技術除了在現代工業制造有著舉足輕重的地位，同時在可行研究領域內也占有相當重要的位置。因為，它直接影響了制造產品的精確性，例如產品的切削加工水平，同時它也是一些集成電路生產水線中的一個關鍵環節。在生物，醫學，光纖對接，微加工業，微型機器人裝配，航天航空等先進科技領域中，微位移技術更是無與倫比的重要。
縱觀現有的微位移測量的系統，基本上可將整體系統分為三個部分：微位移組件、檢測機構、控制系統。三部分相互協作調節檢測機構和控制系統是為了讓微位移機構達到更高的精度。也就是當微位移機構達不到預想的精度時，需要檢測裝置和控制裝置不斷的糾正和誤差修正，使得微位移機構能夠更精確的執行。目前實行微位移技術的應用原理有：激光干涉法、光杠桿法、光柵尺測量法、激光CCD點陣法、光纖測量法等。